ПРЕПРИНТ
О результатах, изложенных в препринтах, не следует сообщать в СМИ как о проверенной информации.
Многоэлементные ионно-плазменные покрытия (МИП) обладают уникальными свойствами, что делает их востребованными в различных областях промышленности. Качество этих покрытий существенно зависит от технологических параметров процесса их нанесения. В данном исследовании изучалось влияние таких параметров, как давление газа, мощность разряда, температура подложки и скорость осаждения на структуру, механические свойства и адгезию МИП покрытий. Экспериментальные данные показали, что изменение давления газа значительно влияет на плотность и адгезию покрытия: при низких значениях давления газообразования покрытие приобретает большую плотность и лучшую адгезию, тогда как высокие значения могут привести к дефектам и снижению однородности. Мощность разряда, регулирующая температуру подложки, также важна: ее увеличение улучшает кристалличность и твердость покрытия, но чрезмерное повышение может вызвать трещины и снизить адгезию. Температура подложки непосредственно влияет на кристаллическую структуру и твердость покрытия, хотя слишком высокая температура может повредить подложку. Скорость осаждения определяет толщину и плотность покрытия: высокие скорости приводят к формированию толстого слоя, но могут ухудшать адгезию и вызывать дефекты, а низкие скорости обеспечивают получение тонких и однородных слоев, хотя процесс становится менее эффективным. Полученные результаты подчеркивают важность оптимизации технологических параметров для улучшения качества МИП покрытий. Эти данные могут быть полезны для разработки новых технологий нанесения покрытий и повышения эффективности уже существующих процессов.
Сакаев А. Р., Данилов Я. А. 2024. ВЛИЯНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НАНЕСЕНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИХ КАЧЕСТВО. PREPRINTS.RU. https://doi.org/10.24108/preprints-3113209