Оптические свойства лазерных мезаструктур с квантовыми ямами HgCdTe, сформированных методом ионного травления

Анна Александровна Разова,Владимир Владимирович Румянцев,Дмитрий Владимирович Шенгуров,Никита Сергеевич Гусев,Елена Евгеньевна Морозова,Владимир Владимирович Уточкин,Михаил Александрович Фадеев,Валерий Альфонасович Вербус,Николай Николаевич Михайлов,Сергей Алексеевич Дворецкий,Владимир Изяславович Гавриленко,Сергей Вячеславович Морозов

ПРЕПРИНТ

Эта статья является препринтом и не была отрецензирована.
О результатах, изложенных в препринтах, не следует сообщать в СМИ как о проверенной информации.

Оптические свойства лазерных мезаструктур с квантовыми ямами HgCdTe, сформированных методом ионного травления

А. А. Разова,

В. В. Румянцев,

Д. В. Шенгуров,

Н. С. Гусев,

Е. Е. Морозова,

В. В. Уточкин,

М. А. Фадеев,

В. А. Вербус,

Н. Н. Михайлов,

С. А. Дворецкий,

В. И. Гавриленко,

С. В. Морозов

2025-01-23

https://doi.org/10.24108/preprints-3113362

Гетероструктуры с квантовыми ямами на основе твердых растворов HgCdTe в последнее время рассматриваются как перспективный материал для приложений среднего инфракрасного диапазона, в частности, для создания лазеров. В данной работе исследовано влияние процессов фотолитографии с различными масками и ионного травления на оптические свойства мезаструктур с микродисковыми, микрокольцевыми и гребенчатыми резонаторами, сформированных на основе гетероструктур с квантовыми ямами HgCdTe/CdHgTe. Показана возможность использования предлагаемой технологии для изготовления лазеров диапазона окна прозрачности атмосферы 3 – 5 мкм, работающих при термоэлектрическом охлаждении.

Ссылка для цитирования:

Разова А. А., Румянцев В. В., Шенгуров Д. В., Гусев Н. С., Морозова Е. Е., Уточкин В. В., Фадеев М. А., Вербус В. А., Михайлов Н. Н., Дворецкий С. А., Гавриленко В. И., Морозов С. В. 2025. Оптические свойства лазерных мезаструктур с квантовыми ямами HgCdTe, сформированных методом ионного травления. PREPRINTS.RU. https://doi.org/10.24108/preprints-3113362

Список литературы

1. J.M. Arias, M. Zandian, R. Zucca, J. Singh, Semiconductor Science and Technology, 8 (1S), S255 (1993). 10.1088/0268-1242/8/1S/056

2. S.V. Morozov, V.V. Rumyantsev, M.S. Zholudev, A.A. Dubinov, V.Y. Aleshkin, V.V. Utochkin, M.A. Fadeev, K.E. Kudryavtsev, N.N. Mikhailov, S.A. Dvoretskii, V.I. Gavrilenko, F. Teppe, ACS Photonics, 8 (12), 3526-3535 (2021). DOI: 10.1021/acsphotonics.1c01111

3. V.V. Utochkin, K.E. Kudryavtsev, A.A. Dubinov, M.A. Fadeev, V.V. Rumyantsev, A.A. Razova, E.V. Andronov, V.Y. Aleshkin, V.I. Gavrilenko, N.N. Mikhailov, S.A. Dvoretsky, F. Teppe, S.V. Morozov, Nanomaterials, 12 (15), 2599 (2022). DOI: 10.3390/nano12152599

4. A. Causier, I. Gerard, M. Bouttemy, A. Etcheberry, C. Pautet, J. Baylet, L. Mollard, Journal of electronic materials, 40 (8), 1823-1829 (2011). DOI: 10.1007/s11664-011-1660-7

5. R. Tenne, R. Brener, R. Triboulet, Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 7 (4), 2570-2574 (1989). DOI: 10.1116/1.575798

6. В.И. Иванов-Омский, К.Е. Миронов, К.Д. Мынбаев, ФТП, 24 (12), 2222-2224 (1990).

7. V.G. Savitsky, L.G. Mansurov, I.M. Fodchuk, I.I. Izhnin, I.S. Virt, M. Lozynska, A.V. Evdokimenko, In International Conference on Solid State Crystals' 98: Epilayers and Heterostructures in Optoelectronics and Semiconductor Technology, 3725, 299-303 (1999). DOI: 10.1117/12.344754.

8. J. Antoszewski, C. A. Musca, J. M. Dell, L. Faraone, Journal of Electronic materials, 29 (6), 837-840 (2000). DOI: 10.1007/s11664-000-0234-x

9. N.N. Berchenko, V.V. Bogoboyashchiy, I.I. Izhnin, A.P. Vlasov, physica status solidi (b), 229 (1), 279-282 (2002). DOI: 10.1002/1521-3951(200201)229:1<279::aid-pssb279>3.0.co;2-0

10. V.I. Ivanov-Omskii, K.E. Mironov, K.D. Mynbaev, Semiconductor science and technology, 8 (5), 634-637 (1993). DOI: 10.1088/0268-1242/8/5/003

11. D.V. Gorshkov, G.Y. Sidorov, V.S. Varavin, I.V. Sabinina, M.V. Yakushev, Applied Physics Letters, 116 (8), 082102 (2020). DOI: 1063/1.5136265

12. Б.А. Костюк, В.С. Варавин, И.О. Парм, В.Г. Ремесник, Г.Ю. Сидоров, Прикладная физика, (4), 85-89 (2014).

13. J. Huang, Z. Ye, W. Yin, H. Hu, C. Lin, X. Hu, R. Ding, L. He, 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optoelectronic Materials and Devices for Sensing, Imaging, and Solar Energy, ed. by Yadong Jiang, Junsheng Yu, Zhifeng Wang, (SPIE, 2012), 8419, 841921. DOI: 10.1117/12.977400

14. V. Utochkin, K. Kudryavtsev, V. Rumyantsev, M. Fadeev, A. Razova, N. Mikhailov, D. Shengurov, S. Gusev, N. Gusev, S. Morozov, Applied Optics, 62 (32), 8529-8534 (2023). DOI: 10.1364/AO.504295

15. A.A. Razova, M.A. Fadeev, V.V. Rumyantsev, V.V. Utochkin, A.A. Dubinov, V.Ya. Aleshkin, N.N. Mikhailov, S.A. Dvoretsky, N.S. Gusev, D.V. Shengurov, E.E. Morozova, V.I. Gavrilenko, S.V. Morozov, Applied Physics Letters. 123 (16), 161105 (2023). DOI: 10.1063/5.0171781

16. S.V. Morozov, K.A. Mazhukina, A.A. Yantser, A.A. Razova, V.V. Utochkin, M.A. Fadeev, V.V. Rumyantsev, A.A. Dubinov, D.V. Shengurov, N.N. Mikhailov, 2024 Photonics & Electromagnetics Research Symposium (PIERS) (IEEE, 2024), 1-6. DOI: 10.1109/PIERS62282.2024.10618720

ПРЕПРИНТ

ИНФОРМАЦИЯ