ПРЕПРИНТ
Эта статья является препринтом и не была отрецензирована.
О результатах, изложенных в препринтах, не следует сообщать в СМИ как о проверенной информации.
О результатах, изложенных в препринтах, не следует сообщать в СМИ как о проверенной информации.
Твердые растворы BaSnTiO3 и BaZrTiO3 для применения на сверхвысоких частотах
2022-05-25
Было проведено экспериментальное исследование структурных и электрофизических свойств многокомпонентных пленок твердых растворов титаната-цирконата и титаната-станната бария на диэлектрических подложках. Показано, что при использовании отжига на подложке формируются пленки с компонентным составом, близким составу распыляемых мишеней. Определены оптимальные температуры осаждения и отжига тонких пленок для получения наилучших электрофизических параметров.
Ссылка для цитирования:
Тумаркин А. В., Сапего Е. Н., Гагарин А. Г. 2022. Твердые растворы BaSnTiO3 и BaZrTiO3 для применения на сверхвысоких частотах. PREPRINTS.RU. https://doi.org/10.24108/preprints-3112429
Список литературы
